SF6, còn được gọi là lưu huỳnh hexafluoride, có góc liên kết 90 độ. Phân tử này có sáu flo được sắp xếp đồng đều xung quanh nguyên tử lưu huỳnh, do đó nó có dạng hình bát diện.
Lưu huỳnh hexafluoride rất trơ, vì flo liên kết mạnh với phân tử lưu huỳnh, và chúng ngăn các phân tử lớn tương tác với lưu huỳnh. Tuy nhiên, hóa chất phản ứng với liti, một phân tử tương đối nhỏ, nhưng natri lại quá lớn để tương tác với lưu huỳnh. Hợp chất này đủ trơ để sử dụng trong các môi trường có phản ứng cao, chẳng hạn như trong quá trình đúc magiê. Trong trường hợp này, lưu huỳnh hexafluoride loại trừ oxy trong không khí có thể phản ứng dữ dội với magiê nóng chảy.
