Carbon-14 trải qua quá trình phân rã beta-trừ. Carbon-14, là một trong những đồng vị phóng xạ carbon với tám neutron thay vì sáu neutron bình thường, phát ra bức xạ beta yếu.
Trong quá trình phân rã beta-trừ, một neutron chuyển đổi thành một proton, vẫn còn trong hạt nhân của nguyên tử và một electron hoặc hạt beta có năng lượng cao. Trong trường hợp của cacbon-14, số nguyên tử của nó, dùng để chỉ số proton có thêm một, trong khi khối lượng nguyên tử của nó, dùng để chỉ tổng số proton và neutron, là như nhau. Điều này dẫn đến sự hình thành nguyên tử nitơ-14.
Carbon-14 có chu kỳ bán rã là 5.730 năm và nó thường được sử dụng để xác định niên đại phóng xạ. Quá trình xác định tuổi của các sinh vật sống trước đây được gọi là xác định niên đại bằng phóng xạ.