Lò vi sóng được phát minh bởi Tiến sĩ Percy LeBaron Spencer. . Công nghệ đằng sau lò vi sóng được phát hiện một cách tình cờ khi Spencer nhận thấy rằng thanh kẹo của mình bị tan chảy trong khi làm việc trong một dự án liên quan đến radar. Ông đã phát hiện ra điều này, ngay sau Thế chiến II, vào năm 1946.
Khi phát hiện ra khả năng sử dụng lò vi sóng để hâm nóng thức ăn, các thiết bị đã được sản xuất cho các ứng dụng thương mại. Mặc dù chúng không đạt được thành công tức thì, nhưng các phiên bản mới của sản phẩm đã khiến các đơn vị gia dụng được sản xuất để bán. Người ta ước tính rằng lò vi sóng đã trở nên phổ biến hơn so với các loại khí đốt thông thường, trên cơ sở doanh số hàng năm, vào giữa những năm 1970.
