Lò vi sóng đầu tiên được chế tạo vào năm 1947. Vào khoảng năm 1946, Percy Spencer, trong khi làm việc cho Raytheon, đã phát hiện ra rằng một nam châm được phát triển để làm nhiễu radar trong Thế chiến thứ hai cũng làm tan chảy thanh sô cô la trong túi sau. Hạt ngô là một trong những loại thực phẩm đầu tiên mà Spencer thử nghiệm và khi chúng nở ra, anh bắt đầu cố gắng làm nóng các loại thực phẩm khác bằng cách sử dụng nam châm.
Lò vi sóng đầu tiên không thực tế để sử dụng trong gia đình. Nó lớn bằng một chiếc tủ lạnh và nặng hơn 750 pound. Amana mua Raytheon vào năm 1965 và sản xuất lò vi sóng có mặt bàn đầu tiên, giống như những lò được sử dụng trong nhà bếp ngày nay, vào năm 1967.