Ngoài Trái đất, các hành tinh trên cạn của sao Hỏa, sao Kim và sao Thủy đều có oxy trong khí quyển của chúng. Khí quyển của những hành tinh này, cùng với những hành tinh khác trong hệ mặt trời, chứa nhiều chất khác nhau. Lượng oxy trong bầu khí quyển của chúng khác nhau; Trái đất chứa nhiều oxy nhất trong khi sao Hỏa và sao Kim có lượng nhỏ hơn và nhiều carbon dioxide hơn.
Khí quyển của tất cả các hành tinh, bất kể thành phần nào, đều chứa các chất cơ bản giống nhau. Chúng hình thành từ một hỗn hợp khí và các hạt, thực hiện các nhiệm vụ như điều chỉnh nhiệt độ và hỗ trợ hoặc không hỗ trợ sự sống. Trong tất cả các thành phần trong khí quyển, oxy đóng vai trò quan trọng hàng đầu là chất hỗ trợ chính cho sự sống. Nó tồn tại với lượng lớn nhất xung quanh Trái đất, do đó nó đóng vai trò là nơi cư trú của nhiều sinh vật sống hơn nhiều so với các hành tinh khác. Trái đất, giống như các hành tinh trên cạn khác, có không khí tạo ra từ các hợp chất và khí nặng. Bầu khí quyển của nó cũng hình thành từ nitơ, và ở mức độ thấp hơn là carbon dioxide, argon, ozone và helium. Bầu khí quyển của Trái đất chứa khoảng 22% ôxy, vượt quá hàm lượng ôxy trong các khí quyển hành tinh khác. Ngoài oxy, một số hành tinh có các đặc tính khác có lợi cho sự sống, chẳng hạn như nước và nhiệt độ có thể dự đoán được. Tuy nhiên, ngay cả những hành tinh có bầu khí quyển gần Trái đất cũng hỗ trợ sự sống ít hơn nhiều.
