Frederick Guthrie đã phát minh ra diode vào năm 1873, nhưng không đưa nó vào sử dụng thực tế. Thomas Edison đã độc lập phát triển nó vào năm 1880, sau đó sử dụng nó trong bằng sáng chế năm 1883 về bóng đèn sợi đốt. John Ambrose Fleming nhận bằng sáng chế đầu tiên về diode vào năm 1904.
Tất cả các điốt ban đầu này đều là điốt ống chân không. Điốt ống chân không là dạng phổ biến nhất cho đến những năm 1950, khi điốt bán dẫn thay thế chúng. Điốt bán dẫn được phát minh ngay sau điốt ống chân không, nhưng không đủ ổn định để sử dụng thực tế cho đến giữa thế kỷ 20. Karl Ferdinand Braun đã phát minh ra diode bán dẫn đầu tiên vào năm 1874 và được cấp bằng sáng chế vào năm 1899.
