Điốt bán dẫn nhỏ hơn, bền hơn và hiệu quả hơn so với ống chân không. Trong khi ống chân không được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị điện tử thời kỳ đầu, những lợi thế do các linh kiện thể rắn mang lại, chẳng hạn như điốt bán dẫn, đã dẫn đến để thay thế chúng trong các thiết bị hiện đại.
Việc phát minh ra mạch tích hợp đã giảm số lượng các thành phần cần thiết để sản xuất một thiết bị và làm cho các cấp độ thu nhỏ mới có thể thực hiện được. Điốt bán dẫn là thiết bị đơn giản được sử dụng để hạn chế dòng điện chạy theo một hướng duy nhất. Khả năng và mức độ hiệu suất mà các linh kiện bán dẫn mang lại đã tạo ra một loạt các thiết bị không thể sản xuất bằng ống chân không.
Điốt ống chân không đầu tiên được phát minh vào năm 1904 bởi một nhà khoa học người Anh tên là Sir John Fleming. Các ống này được sử dụng rộng rãi trong nhiều loại thiết bị quân sự như hệ thống radar, thiết bị vô tuyến thời kỳ đầu và thậm chí là máy tính kỹ thuật số điện tử lớn đầu tiên. Các ống chân không và ống tia âm cực sau này sẽ được sử dụng trong sản xuất máy thu hình. Ống chân không bắt đầu không được ưa chuộng khi sự ra đời của các thành phần bán dẫn ban đầu, chẳng hạn như bóng bán dẫn, có thể mang lại một số lợi thế so với ống chân không, cho phép tạo ra các thiết bị nhỏ hơn và tinh vi hơn.
